随着智能电话和社交根基设备监控利用等花费电子产物市场的扩大，估计提速度计的要求将大幅增添。这类小型化和可批量制造的提速度计平常由硅MEMS技艺开发，此中生产工艺曾经很好地构建。

在提速度计的设置中，在大小减小和降噪之中存留折衷，由于布朗噪声主导的机械噪声与称为检测品质的搬动电极的品质成反比。另外，电容式提速度计的灵敏度平常与提速度计大小成比重，因而在大小减小和灵敏度增添之中也存留折衷。源于高分辨率提速度计须要低噪声和高灵敏度功能，因而惯例的鉴于硅的MEMS提速度计难以检验1μG电平输入提速度。

低噪声和高灵敏度MEMS提速度计

由东京产业大学和NTT领先进步技艺企业的探讨人士构成的探讨小组之前提议了一个方法，经过运用金资料将MEMS提速度计的检测品质大小缩短到不到非常之一。在这项事业中，作为此一成就的拉伸，它们在检验品质和弹簧组件上采纳了多层金属构造，并开发了一个低噪声，高灵敏度的MEMS提速度计。

剩下; 图为开发的高灵敏度MEMS提速度计。Au检验品质块在硅晶片上生产。提速度计采纳陶瓷封装并采纳引线键合。对; SEM图像显现了Au检验品质和弹簧构造的特写视图。采纳M4和M5层成功开发了22μm厚的Au品质块构造。蛇形弹簧构造由M3和M4层制成。蛇形弹簧和塞子放置在检验品质的每个角落。相片来自：Sensors and Materials，Daisuke Yamane

如图1所示，经过运用多层金作为检测品质构造，经过增添每面积品质，他们减小了布朗噪声，其与检测品质成反比。

另外，它们经过降低检验品质的翘曲来应用4平方mm芯片的全个地域，这使他们能够增添提速度计的电容灵敏度。图2显现了开发的MEMS提速度计的芯片照片和扫描电子显微镜图像。

新款提速度计的灵敏度比从前的技艺高10??0倍，相同大小的噪音下降非常之一，如图3所示。因而，探讨人士证实，提速度计可行检验低至1μG的输入提速度。的生产工艺 entailed半导体微细加工料理和电镀，而且因而它可行是能够实此刻集成电路芯片上的显影MEMS构造。因而，所提议的技艺关于增添用于通用目的的小型化提速度计的分辨率将是有效的。

该图显现了布朗噪声(BN)与电容灵敏度的相比。源于高密度的金，与相同的灵敏度比较，在这项事业中实现的BN比惯例设施低了一种数量级。另外，咱们的器件是经过外表微机械加工生产的，可用于小型化。相片来自：传感器和资料

该提速度计可行利用于医疗保健技艺，根基设备监控，超轻型机器人，车辆辆操控，高精度操控导航体系在位置GPS没有办法运用，和体积环境的测量请求超低提速度感应。